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（2）实空传输平台品
以及大气aligner、LOADPORT所构成的EFEM产物等已起头模块化及尺度化定型，目前设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入市场量产使用。集成产物包罗立式炉，于2023年成立了沈阳新松设备无限公司（简称“新松半导体公司”），从动化股份无限公司已具有正在实空类晶圆传输和大气类晶圆传输系列产物的完全自从，（3）大气类产物方面，目前：（1）两轴、三轴实空曲驱机械手产物全面导入终端FAB厂，包罗实空曲驱机械手、实空拆载机（VPH）、实空预瞄准机（ALIGNER）已通过工艺设备厂客户端验证后随其批量导入FAB厂使用。可普遍办事于硅片出产、先辈封拆及封拆测试等半导体系体例制全财产链，
